Metala Rotacia Celo
Ortogonalaj magnetaj kaj elektraj kampoj estas aplikataj inter la ŝpruccelo (katodo) kaj la anodo.Kaj plenigu la bezonatan inertan gason (kutime Ar-gaso) en la alta vakua ĉambro.Sub la ago de elektra kampo, Ar-gaso estas jonigita en pozitivajn jonojn kaj elektronojn.Certa negativa alta tensio estas aplikata al la celo, la elektronoj elsenditaj de la celo estas influitaj de la magneta kampo, la joniga probableco de la laborgaso pliiĝas, altdenseca plasmo formiĝas proksime de la katodo, kaj la Ar-jonoj estas tuŝitaj. de la Lorentz-forto.Tiam akcelu por flugi al la celsurfaco, kaj bombardu la celsurfacon al alta rapideco, tiel ke la ŝprucitaj atomoj sur la celo sekvu la principon de movokvanto-konverto, flugas de la celsurfaco al la substrato, kaj deponu altan kinetan energian filmon.
Por plu plibonigi la utiligan indicon de la celmaterialo, turnanta katodo kun pli alta uzefikeco estas dezajnita, kaj tubforma celmaterialo estas uzata por ŝprucigi tegaĵon.La plibonigo de ŝpruciga ekipaĵo postulas, ke la celo estu ŝanĝita de plata formo al tubforma formo, kaj la utiliga indico de la tubforma turnanta celo povas esti ĝis 70%, kio plejparte solvas la problemon de malalta utiligo de la plata celo.
Nomo de produktoj | Metala rotacia celo |
Materialo | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Varma venda grandeco | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm Povas ankaŭ esti procesita laŭ la specifaj postuloj de klientoj |
MOQ | 3 pecoj |
Pako | Pli ligna kazo |
Apliko
Ŝpruciga tegaĵo estas nova speco de fizika vapora tegmetodo.Kompare kun la vaporiĝa tega metodo, ĝi havas evidentajn avantaĝojn
en multaj aspektoj.Metalaj ŝprucceloj estis uzitaj en multaj kampoj.La ĉefa apliko de turnanta celo.
■Sunĉeloj
■Arkitektura vitro
■Aŭtomata vitro
■Semikonduktaĵo
■Platekrana televidilo ktp
Mendo Informoj
Demandoj kaj mendoj devus inkluzivi la jenajn informojn:
☑Celspecifo ID×OD×L (mm).
☑Kvanto bezonata.
☑Bonvolu kontakti nin por pli specialaj bezonoj.